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Titel An in situ x-ray photoelectron spectroscopy study of the initial stages of rf magnetron sputter deposition of indium tin oxide on p-type Si substrate / M. H. Rein, M. V. Hohmann, Annett Thøgersen, Jeyanthinath Mayandi, Arve O. Holt, Andreas Klein, Eduard V. Monakhov
Person(en) Rein, Margrethe (Verfasser)
Hohmann, M. V. (Verfasser)
Thøgersen, Annett (Verfasser)
Mayandi, Jeyanthinath (Verfasser)
Holt, Arve (Verfasser)
Klein, Andreas (Verfasser)
Monakhov, Eduard (Verfasser)
Verlag Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-198304
DOI: 10.26083/tuprints-00019830
URL http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/19830/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Applied Physics Letters, 102, (2), AIP Publishing, ISSN 0003-6951, https://doi.org/10.26083/tuprints-00019830
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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