Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: per="Cobb," AND per="Paul" AND per="M." AND Catalog=dnb
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1226516807 |
| Titel | EUV Lithography: Patterning to the End of the Road / by Jonathan L. Cobb, Robert L. Brainard, Donna J. O’Connell, Paul M. Dentinger |
| Person(en) |
Cobb, Jonathan L. (Verfasser) Brainard, Robert L. (Verfasser) O’Connell, Donna J. (Verfasser) Dentinger, Paul M. (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021020521484717317005 DOI: 10.1557/PROC-705-Y3.2 |
| URL | https://doi.org/10.1557/PROC-705-Y3.2 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2002 |
| DDC-Notation | 535.4 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 705, 15.3.2011, Nr. 1, date:12.2001: 321-3210) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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