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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Integrierte Optik und Mikromechanik auf Silizium / Hocine Bezzaoui
Person(en) Bezzaoui, Hocine (Verfasser)
Ausgabe Als Ms. gedr.
Verlag Düsseldorf : VDI-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1993
Umfang/Format 96 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Dortmund, Univ., Diss.
ISBN/Einband/Preis 978-3-18-146309-3 kart. : DM 66.00 (nicht im Sortimentsbuchh.)
3-18-146309-4 kart. : DM 66.00 (nicht im Sortimentsbuchh.)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / Reihe 9 / Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 163
Schlagwörter Streifenwellenleiter ; Siliciumoxinitride ; PECVD-Verfahren
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik

Frankfurt Signatur: 1993 A 33594
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1993 A 33594
Bereitstellung in Leipzig




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