Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1230871144 |
| Titel | Thermal Stability and Substitutional Carbon Incorporation far above Solid-Solubility in Si1-xCx and Si1-x-yGexCy Layers Grown by Chemical Vapor Deposition using Disilane / by M. S. Carroll, J. C. Sturm, E. Napolitani, D. De Salvador, M. Berti |
| Person(en) |
Carroll, M. S. (Verfasser) Sturm, J. C. (Verfasser) Napolitani, E. (Verfasser) Salvador, D. De (Verfasser) Berti, M. (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021040623582470985266 DOI: 10.1557/PROC-717-C4.3 |
| URL | https://doi.org/10.1557/PROC-717-C4.3 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2002 |
| DDC-Notation | 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 717, 1.2.2011, Nr. 1, date:12.2002: 1-7) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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