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Titel Sputter-redeposition method for the fabrication of automatically sealed micro/nanochannel using FIBs / by Heung-Bae Kim, Gerhard Hobler, Andreas Steiger, Alois Lugstein, Emmerich Bertagnolli, Elmar Platzgummer, Hans Loeschner
Person(en) Kim, Heung-Bae (Verfasser)
Hobler, Gerhard (Sonstige)
Steiger, Andreas (Sonstige)
Lugstein, Alois (Sonstige)
Bertagnolli, Emmerich (Sonstige)
Platzgummer, Elmar (Sonstige)
Loeschner, Hans (Sonstige)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20170315146
DOI: 10.1007/s12541-011-0119-3
URL http://dx.doi.org/10.1007/s12541-011-0119-3
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2011
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen In: International journal of precision engineering and manufacturing (Bd. 12, 1.10.2011, Nr. 5, date:10.2011: 893-898)
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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