Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=995018766
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/995018766 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel |
| Person(en) | Hellriegel, Ronald (Verfasser) |
| Verlag | Norderstedt : Books on Demand GmbH |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | VI, 123 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 206 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Hellriegel, Ronald: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8391-0693-8 kart. : EUR 8.90, sfr 16.90 (freier Pr.) 978-3-839-10693-8 (falsch) |
| EAN | 9783839106938 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Aufdampfen ; Titannitrid ; Vakuumkammer ; Ablagerung ; Reinigung ; Plasmaätzen |
| DDC-Notation | 671.735028 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 A 6178 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2009 A 108947 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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