Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Wegen Wartungsarbeiten ist vom 12. bis 14. Januar 2026 der Museumslesesaal, sowie vom 14. bis 16. Januar 2026 der Musiklesesaal geschlossen. // Due to maintenance work the museum reading room will be closed from 12 to 14 January 2026 and the music reading room from 14 to 16 January 2026.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Positionierung und Selbstpositionierung bei der Strukturierung von Halbleitersubstraten / vorgelegt von Dr. Kurt Drescher
Person(en) Drescher, Kurt (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1981
Umfang/Format IV, 209, 7 Bl. : Ill. ; 30 cm
Hochschulschrift Karl-Marx-Stadt, Techn. Univ., Fak. für Elektroingenieurwesen, Diss. B, 1981.
Anmerkungen Nicht für den Austausch
Schlagwörter Mikroelektronik / Positionierung u. Selbstpositionierung b. Halbleitersubstraten ; Halbleiter / Positionierung u. Selbstpositionierung
Sachgruppe(n) 0800 Energiewirtschaft, Elektrotechnik, Elektronik

Leipzig Signatur: Di 1985 B 1520
Bereitstellung in Leipzig




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