Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=213081962
![]() |
|
Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/213081962 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Positionierung und Selbstpositionierung bei der Strukturierung von Halbleitersubstraten / vorgelegt von Dr. Kurt Drescher |
Person(en) | Drescher, Kurt (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1981 |
Umfang/Format | IV, 209, 7 Bl. : Ill. ; 30 cm |
Hochschulschrift | Karl-Marx-Stadt, Techn. Univ., Fak. für Elektroingenieurwesen, Diss. B, 1981. |
Anmerkungen | Nicht für den Austausch |
Schlagwörter | Mikroelektronik / Positionierung u. Selbstpositionierung b. Halbleitersubstraten ; Halbleiter / Positionierung u. Selbstpositionierung |
Sachgruppe(n) | 0800 Energiewirtschaft, Elektrotechnik, Elektronik |
Leipzig |
Signatur: Di 1985 B 1520
Bereitstellung in Leipzig |
