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Ergebnis der Suche nach: tit all "Gekoppelte dynamisch-optische Simulation von Hochleistungsobjektiven"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1080494162 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Gekoppelte dynamisch-optische Simulation von Hochleistungsobjektiven / Nicolai Wengert |
| Person(en) | Wengert, Nicolai (Verfasser) |
| Organisation(en) | Shaker Verlag (Verlag) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Umfang/Format | XII, 142 Seiten : Illustrationen ; 21 cm, 231 g |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Stuttgart, 2015 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8440-4175-0 Broschur : EUR 48.80 (AT), sfr 61.00 (freier Pr.), EUR 48.80 (DE) 3-8440-4175-3 |
| EAN | 9783844041750 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Universität Stuttgart. Institut für Technische und Numerische Mechanik: Schriften aus dem Institut für Technische und Numerische Mechanik der Universität Stuttgart ; Band 40 (2016) |
| Schlagwörter | Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Objektiv ; Mehrkörpersystem ; Finite-Elemente-Methode ; Ray tracing ; Fourier-Optik ; Simulation ; Belichtung ; Bildfehler ; Photoresist |
| DDC-Notation | 621.367 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 530 Physik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2016 A 14543
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2016 A 45716
Bereitstellung in Leipzig |
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