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Ergebnis der Suche nach: tit all "Ionengstützte Abscheidung und optische Charakterisierung von polykristallinen Dünnschichten am Beispiel von Bornitrid"
Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/955835550 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Ionengstützte Abscheidung und optische Charakterisierung von polykristallinen Dünnschichten am Beispiel von Bornitrid / vorgelegt von Eva Franke |
Person(en) | Franke, Eva (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1998 |
Umfang/Format | 107 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Hochschulschrift | Leipzig, Univ., Diss., 1998 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter |
Bornitrid ; Sputtern ; Dünne Schicht ; Polykristall ; Gefüge <Werkstoffkunde> ; Optische Eigenschaft Bornitrid ; Dünne Schicht ; Ellipsometrie ; Fourier-Spektroskopie |
Sachgruppe(n) | 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 35 Technik allgemein ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 29 Physik, Astronomie |
Frankfurt |
Signatur: H 1999 B 113
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: H 1999 B 113
Bereitstellung in Leipzig |