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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ionengstützte Abscheidung und optische Charakterisierung von polykristallinen Dünnschichten am Beispiel von Bornitrid / vorgelegt von Eva Franke
Person(en) Franke, Eva (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1998
Umfang/Format 107 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Leipzig, Univ., Diss., 1998
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Bornitrid ; Sputtern ; Dünne Schicht ; Polykristall ; Gefüge <Werkstoffkunde> ; Optische Eigenschaft
Bornitrid ; Dünne Schicht ; Ellipsometrie ; Fourier-Spektroskopie
Sachgruppe(n) 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 35 Technik allgemein ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 29 Physik, Astronomie

Frankfurt Signatur: H 1999 B 113
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1999 B 113
Bereitstellung in Leipzig




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