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Ergebnis der Suche nach: tit all "Miniaturisierung von Beschleunigungssensoren auf Basis des Tunneleffekts"



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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1302819755
Titel Miniaturisierung von Beschleunigungssensoren auf Basis des Tunneleffekts / Michael Haub ; Betreuer: André Zimmermann
Person(en) Haub, Michael (Verfasser)
Zimmermann, André (Akademischer Betreuer)
Verlag Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2022
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-135334
DOI: 10.18419/opus-13514
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Beschleunigungssensor* ; Miniaturisierung* ; MEMS* ; Tunneleffekt* ; Rastertunnelmikroskopie* ; Tunnelierung* ; Sensor* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 681.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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