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Ergebnis der Suche nach: tit all "Modeling and Experimental Study of a Remote Microwave Plasma Source for High-Rate Etching"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1248743121 |
| Titel | Modeling and Experimental Study of a Remote Microwave Plasma Source for High‐Rate Etching |
| Person(en) |
Pauly, Steffen (Verfasser) Schulz, Andreas (Verfasser) Walker, Matthias (Verfasser) Gorath, Moritz (Verfasser) Baumgärtner, Klaus (Verfasser) Tovar, Günter E. M. (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022010414115826352627 DOI: 10.1002/cite.202100144 |
| URL | https://doi.org/10.1002/cite.202100144 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 03.01.2022 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Chemie - Ingenieur - Technik (03.01.2022. 8 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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