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Ergebnis der Suche nach: tit all "Modellierung und Diagnostik einer Remote-Mikrowellen-Plasmaquelle zum Hochrateätzen"



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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1342198514
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modellierung und Diagnostik einer Remote-Mikrowellen-Plasmaquelle zum Hochrateätzen / Steffen Pauly ; Betreuer: Günter E. M. Tovar
Person(en) Pauly, Steffen (Verfasser)
Tovar, Günter (Akademischer Betreuer)
Verlag Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2024
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2024
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-149288
DOI: 10.18419/opus-14909
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Modellierung* ; Plasmaätzen* ; Finite-Elemente-Methode* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 615.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 610 Medizin, Gesundheit

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