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Ergebnis der Suche nach: tit all "Modellierung und Diagnostik einer Remote-Mikrowellen-Plasmaquelle zum Hochrateätzen"
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1342198514 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Modellierung und Diagnostik einer Remote-Mikrowellen-Plasmaquelle zum Hochrateätzen / Steffen Pauly ; Betreuer: Günter E. M. Tovar |
Person(en) |
Pauly, Steffen (Verfasser) Tovar, Günter (Akademischer Betreuer) |
Verlag | Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Hochschulschrift | Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2024 |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-149288 DOI: 10.18419/opus-14909 |
URL | (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Modellierung* ; Plasmaätzen* ; Finite-Elemente-Methode* (*maschinell ermittelt) |
DDC-Notation | 615.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
Sachgruppe(n) | 610 Medizin, Gesundheit |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
