Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten Noch nicht die passende Literatur gefunden? → Book a Librarian
 
 

Ergebnis der Suche nach: per="Dahlhaus," AND per="Peter" AND Catalog=dnb

Zurück zur Trefferliste


Treffer 9 von 16 < < > <



Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1318046335
Titel (Me 5 C 5) SiH 3 and (Me 5 C 5) 2 SiH 2 as precursors for low‐temperature remote plasma‐enhanced CVD of thin Si 3 N 4 and SiO 2 films
Person(en) Dahlhaus, Jürgen (Verfasser)
Jutzi, Peter (Verfasser)
Frenck, Hubert‐Joachim (Verfasser)
Kulisch, Wilhelm (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024020205161711919735
DOI: 10.1002/adma.19930050510
URL https://doi.org/10.1002/adma.19930050510
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 29.10.2004
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced materials (Bd. 5, 2004, Nr. 5: 377-380. 4 S.)

Online-Zugriff Archivobjekt öffnen




Treffer 9 von 16
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage

E-Mail-IconAdministration