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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Telezentrische Deflektometrie zur Nanotopographiemessung von Halbleiterscheiben / vorgelegt von Alexander Tobisch
Person(en) Tobisch, Alexander (Verfasser)
Verlag Erlangen ; Nürnberg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2017]
Umfang/Format 232 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2017
ISBN/Einband/Preis Broschur
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Wafer* ; Messung* ; Deflektometrie* ; Topografie* ; Messtechnik* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2017 A 66469
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2017 A 86517
Bereitstellung in Leipzig




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