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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel
Person(en) Vogel, Michael (Verfasser)
Verlag Siegen : Universitätsbibliothek der Universität Siegen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Siegen, Universität Siegen, 2016
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:467-10414
URL http://dokumentix.ub.uni-siegen.de/opus/volltexte/2016/1041/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; 11
Schlagwörter Sputtern ; Aluminiumnitrid ; Diamant
Diamant* ; Aluminiumnitrid* ; Dünne Schicht* ; Sputtern* ; Rasterkraftmikroskopie* ; Herstellung* ; Magnetron* ; Röntgenfeinstrukturanalyse* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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