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Struktur und Eigenschaften von gesputterten a-C:H:Nb-Schichten für piezoresistive Sensoren
Grein, Maria. - Braunschweig : Technische Universität Braunschweig, 2021
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Deposition, Charakterisierung und Bandanpassung oxidischer Dünnschichtmaterialien zur Lichtabsorption
Morasch, Jan. - Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt, 2017
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Entwicklung einer neuartigen Metall-Kohlenstoff-Verbundbeschichtung - Einfluss der Prozessparameter auf die Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetron-Sputtern von Mo-W-C Schichten
Kleinn, Johanna. - Offenburg : Hochschule Offenburg, 2017
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Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
Vogel, Michael. - Siegen : Universitätsbibliothek der Universität Siegen, 2016
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Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
Güttler, D.. - Dresden : Forschungszentrum Dresden, 2010
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Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern
Weber, Jörn Christian. - München : Verlag Dr. Hut, 2010, 1. Auflage
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Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau
Stüber, Michael. - Karlsruhe : KIT-Bibliothek, 1997
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