Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt bleibt vom 10.03. bis 22.03.2025 wegen Umbauarbeiten geschlossen.
The German National Library in Frankfurt will remain closed from March 10 to March 22, 2025, due to renovation work.
 
 

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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Line edge roughness in optical critical dimension metrology / vorgelegt von magister inżynier/TU Warschau Bartosz Bilski
Person(en) Bilski, Bartosz (Verfasser)
Verlag Stuttgart : Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format xxix, 121 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Universität Stuttgart, 2015
ISBN/Einband/Preis 978-3-923560-80-6 Broschur
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Universität Stuttgart. Institut für Technische Optik: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; Nr. 81
DDC-Notation 530.81 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2016 A 39636
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2016 A 23233
Bereitstellung in Leipzig




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