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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern / Frank Schmaljohann ; Herausgeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit
Person(en) Schmaljohann, Frank (Verfasser)
Organisation(en) Wirtschaftsverlag N.W. Verlag für Neue Wissenschaft (Verlag)
Ausgabe [1. Auflage]
Verlag Braunschweig : Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Vertrieb Bremen : Fachverlag NW
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: Dezember 2015
Umfang/Format 137 Seiten : Illustrationen ; 30 cm, 484 g
Hochschulschrift Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2015
ISBN/Einband/Preis 978-3-95606-233-9 Broschur : EUR 19.00 (DE), EUR 19.60 (AT)
3-95606-233-7
Bestellnummer(n) Bestellnummer: PTB F-56
EAN 9783956062339
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen PTB-Bericht / F / Fertigungsmesstechnik ; 56
Schlagwörter Dünnschichtsensor ; Metallischer Werkstoff ; Magnetronsputtern ; Elektrische Isolierung ; Dünne Schicht ; Nanometerbereich ; Gitterbaufehler ; Substrat <Mikroelektronik> ; Schichtdicke ; Probekörper <Werkstoffprüfung>
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]; 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2017 B 22355
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2017 B 23722
Bereitstellung in Leipzig




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