Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt am Main ist am Dienstag, 23. Juni 2026 geschlossen. // The German National Library in Frankfurt am Main will be closed on Tuesday 23 June 2026 The exhibitions of the German Exile Archive 1933–1945 will also be closed.
 
Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist am Donnerstag, 18. Juni 2026 geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 20 Uhr geöffnet.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ablenk-Systeme für die Multi-Elektronenstrahllithografie auf Basis CMOS-kompatibler Fertigungsprozesse / Michael Jurisch ; Betreuer: Joachim N. Burghartz
Person(en) Jurisch, Michael (Verfasser)
Burghartz, Joachim N. (Akademischer Betreuer)
Verlag Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2017
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2017
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-92157
DOI: 10.18419/opus-9198
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter CMOS* ; Lithografie* ; Ablenkung <Physik>* ; Fertigung* ; Elektrode* ; Elektronenstrahl* ; Chip* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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