Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=131002622X
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/131002622X |
| Titel | Generation of Chrome Masks with Micrometer‐Scale Features Using Microlens Lithography |
| Person(en) |
Wu, H. (Verfasser) Odom, T.W. (Verfasser) Whitesides, G.M. (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023111606230755086608 DOI: 10.1002/1521-4095(20020903)14:17<1213::AID-ADMA1213>3.0.CO;2-S |
| URL | https://doi.org/10.1002/1521-4095(20020903)14:17<1213::AID-ADMA1213>3.0.CO;2-S |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 29.08.2002 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced materials (Bd. 14, 2002, Nr. 17: 1213-1216. 4 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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