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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1328449459
Titel Laser Lithography of Monolithically‐Integrated Multi‐Level Microchannels in Silicon (Adv. Mater. Technol. 9/2024)
Person(en) Tauseef, Muhammad Ahsan (Verfasser)
Asgari Sabet, Rana (Verfasser)
Tokel, Onur (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061418341.896639803255
DOI: 10.1002/admt.202470042
URL https://doi.org/10.1002/admt.202470042
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 06.05.2024
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Materials Technologies (Bd. 9, 2024, Nr. 9. 1 S.)

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