Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328459004
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328459004 |
| Titel | ITRS lithography roadmap: status and challenges |
| Person(en) |
Neisser, Mark (Verfasser) Wurm, Stefan (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405061616023.813388485285 DOI: 10.1515/aot-2012-0045 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 08.09.2012 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 1, 2012, Nr. 4: 217-222) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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