Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek ist am Donnerstag, 14. Mai 2026 an beiden Standorten geschlossen. // The German National Library will be closed on Thursday 14 May 2026 at both locations.
 
 

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Titel Development of core technologies on EUV mask and resist for sub-20-nm half pitch generation
Person(en) Inoue, Soichi (Verfasser)
Amano, Tsuyoshi (Verfasser)
Itani, Toshiro (Verfasser)
Watanabe, Hidehiro (Verfasser)
Mori, Ichiro (Verfasser)
Watanabe, Takeo (Verfasser)
Kinoshita, Hiroo (Verfasser)
Miyai, Hiroki (Verfasser)
Hatakeyama, Masahiro (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061618390.658947089038
DOI: 10.1515/aot-2012-0029
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.09.2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 1, 2012, Nr. 4: 269-278)

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