Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Titel Computational metrology and inspection (CMI) in mask inspection, metrology, review, and repair
Person(en) Pang, Linyong (Verfasser)
Peng, Danping (Verfasser)
Hu, Peter (Verfasser)
Chen, Dongxue (Verfasser)
He, Lin (Verfasser)
Li, Ying (Verfasser)
Satake, Masaki (Verfasser)
Tolani, Vikram (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061619508.169750609381
DOI: 10.1515/aot-2012-0127
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.09.2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 1, 2012, Nr. 4: 299-321)

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