Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Am Samstag, 25. April 2026, ist die Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main aufgrund von Wartungsarbeiten geschlossen.
Due to maintenance work the German National Library in Frankfurt will be closed on Saturday, 25 April 2026.
 
Neuigkeiten

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Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek ist am Freitag, 1. Mai 2026 an beiden Standorten geschlossen. //
The German National Library will be closed on Friday 1 May 2026 at both locations.
 
 

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Titel Review of computational lithography modeling: focusing on extending optical lithography and design-technology co-optimization
Person(en) Lai, Kafai (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061630035.459357490540
DOI: 10.1515/aot-2012-0037
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.09.2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 1, 2012, Nr. 4: 249-267)

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