Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328460363
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328460363 |
| Titel | How to make lithography patterns print: the role of OPC and pattern layout |
| Person(en) | De Bisschop, Peter (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405061632184.743909899327 DOI: 10.1515/aot-2015-0023 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 20.05.2015 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 4, 2015, Nr. 4: 253-284. 32 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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