Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Titel The Next Decade of Optical Lithography
Person(en) Totzeck, Michael (Verfasser)
Lai, Kafai (Verfasser)
Smith, Daniel (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061637000.022361395194
DOI: 10.1515/aot-2012-0044
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.09.2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 1, 2012, Nr. 4: 215-216)

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