Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328468917 |
| Titel | Multi-function optical characterization and inspection of MEMS components using stroboscopic coherence scanning interferometry |
| Person(en) |
Tapilouw, Abraham Mario (Verfasser) Chen, Liang-Chia (Verfasser) Xuan-Loc, Nguyen (Verfasser) Chen, Jin-Liang (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405061649037.101593280684 DOI: 10.1515/aot-2014-0031 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 06.08.2014 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 3, 2014, Nr. 4: 407-416. 10 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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