Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations.
 
 

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Titel Micro-optics and lithography simulation are key enabling technologies for shadow printing lithography in mask aligners
Person(en) Voelkel, Reinhard (Verfasser)
Vogler, Uwe (Verfasser)
Bramati, Arianna (Verfasser)
Noell, Wilfried (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061650108.393447292374
DOI: 10.1515/aot-2014-0065
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 06.02.2015
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 4, 2015, Nr. 1: 63-69. 7 S.)

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