Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328472426
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328472426 |
| Titel | Performance of 100-W HVM LPP-EUV source |
| Person(en) |
Mizoguchi, Hakaru (Verfasser) Nakarai, Hiroaki (Verfasser) Abe, Tamotsu (Verfasser) Nowak, Krzysztof M. (Verfasser) Kawasuji, Yasufumi (Verfasser) Tanaka, Hiroshi (Verfasser) Watanabe, Yukio (Verfasser) Hori, Tsukasa (Verfasser) Kodama, Takeshi (Verfasser) Shiraishi, Yutaka (Verfasser) Yanagida, Tatsuya (Verfasser) Soumagne, Georg (Verfasser) Yamada, Tsuyoshi (Verfasser) Yamazaki, Taku (Verfasser) Okazaki, Shinji (Verfasser) Saitou, Takashi (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405061650448.414847833852 DOI: 10.1515/aot-2015-0025 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 30.07.2015 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 4, 2015, Nr. 4: 297-309. 13 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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