Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328537137
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328537137 |
| Titel | Effect of nanosilica abrasive properties on tungsten chemical mechanical planarization / by Jingwei Zhang, Gaoyuan Ren, Li Wang, Wenxiang Xie, Deng Pan, Hongjiu Su, Shudong Wang |
| Person(en) |
Zhang, Jingwei (Verfasser) Ren, Gaoyuan (Verfasser) Wang, Li (Verfasser) Xie, Wenxiang (Verfasser) Pan, Deng (Verfasser) Su, Hongjiu (Verfasser) Wang, Shudong (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | 1 Online-Ressource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405071000013.610767088372 DOI: 10.1007/s10854-023-11914-5 |
| URL | https://doi.org/10.1007/s10854-023-11914-5 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
| DDC-Notation | 671.73 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Journal of materials science / Materials in electronics (Bd. 35, 17.2.2024, Nr. 5, date:2.2024: 1-9) |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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