Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328625850
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328625850 |
| Titel | EUV mask defectivity – a process of increasing control toward HVM |
| Person(en) | Jonckheere, Rik (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405071629128.277665868949 DOI: 10.1515/aot-2017-0017 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 08.06.2017 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 6, 2017, Nr. 3-4: 203-220. 18 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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