Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek ist am Pfingstmontag, 25. Mai 2026, an beiden Standorten geschlossen. // The German National Library will be closed on 25 May 2026 at both locations.
 
Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt am Main ist an Fronleichnam, Donnerstag, 4. Juni 2026 geschlossen. // The German National Library in Frankfurt am Main will be closed on Thursday, 4 June 2026 due to a public holiday (Fronleichnam).
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1328625907
Titel Characterization and mitigation of 3D mask effects in extreme ultraviolet lithography
Person(en) Erdmann, Andreas (Verfasser)
Xu, Dongbo (Verfasser)
Evanschitzky, Peter (Verfasser)
Philipsen, Vicky (Verfasser)
Luong, Vu (Verfasser)
Hendrickx, Eric (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405071629348.386353584309
DOI: 10.1515/aot-2017-0019
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 10.05.2017
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 6, 2017, Nr. 3-4: 187-201. 15 S.)

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