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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1328626075
Titel Challenges of anamorphic high-NA lithography and mask making
Person(en) Hsu, Stephen D. (Verfasser)
Liu, Jingjing (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405071631484.333255586978
DOI: 10.1515/aot-2017-0024
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.06.2017
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 6, 2017, Nr. 3-4: 293-310. 18 S.)

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