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Titel	Next-generation lithography – an outlook on EUV projection and nanoimprint
Person(en)	Schoot, Jan van (Verfasser) Schift, Helmut (Verfasser)
Umfang/Format	Online-Ressource
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2405071632207.898904280508 DOI: 10.1515/aot-2017-0040
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 08.06.2017
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 6, 2017, Nr. 3-4: 159-162. 4 S.)

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