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Titel Beyond grayscale lithography: inherently three-dimensional patterning by Talbot effect
Person(en) Fallica, Roberto (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405071645319.786575525896
DOI: 10.1515/aot-2019-0005
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 23.05.2019
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 8, 2019, Nr. 3-4: 233-240. 8 S.)

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