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Titel Fabrication of bio-inspired 3D nanoimprint mold using acceleration-voltage-modulation electron-beam lithography
Person(en) Goto, Kohei (Verfasser)
Taniguchi, Jun (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405071646224.155582184540
DOI: 10.1515/aot-2019-0017
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 10.08.2019
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 8, 2019, Nr. 3-4: 289-297. 9 S.)

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