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Titel	Fabrication of 3D microstructures using grayscale lithography
Person(en)	Lima, Frederico (Verfasser) Khazi, Isman (Verfasser) Mescheder, Ulrich (Verfasser) Tungal, Alok C. (Verfasser) Muthiah, Uma (Verfasser)
Umfang/Format	Online-Ressource
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2405071646310.185575893335 DOI: 10.1515/aot-2019-0023
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 12.06.2019
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 8, 2019, Nr. 3-4: 181-193. 13 S.)

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