Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328628264 |
| Titel | 3D nanofabrication using controlled-acceleration-voltage electron beam lithography with nanoimprinting technology |
| Person(en) |
Unno, Noriyuki (Verfasser) Taniguchi, Jun (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405071649460.787133790923 DOI: 10.1515/aot-2019-0004 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 30.05.2019 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 8, 2019, Nr. 3-4: 253-266. 14 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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