Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328628515 |
| Titel | Single-digit 6-nm multilevel patterns by electron beam grayscale lithography |
| Person(en) |
Kirchner, Robert (Verfasser) Guzenko, Vitaliy A. (Verfasser) Schift, Helmut (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405071652104.883325250562 DOI: 10.1515/aot-2019-0016 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 22.04.2019 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 8, 2019, Nr. 3-4: 175-180. 6 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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