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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1328689018
Titel	On the Prospects of Lithography in the Region of Wavelengths Shorter than 13.5 nm / by N. I. Chkhalo, K. V. Durov, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko
Person(en)	Chkhalo, N. I. (Verfasser) Durov, K. V. (Verfasser) Nechay, A. N. (Verfasser) Perekalov, A. A. (Verfasser) Polkovnikov, V. N. (Verfasser) Salashchenko, N. N. (Verfasser)
Organisation(en)	SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format	1 Online-Ressource.
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2405081005377.694227444738 DOI: 10.1134/S1027451023070078
URL	https://doi.org/10.1134/S1027451023070078
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2023
DDC-Notation	537.5 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Enthalten in: Journal of surface investigation (Bd. 17, 4.3.2024, Nr. 1, date:12.2023: S226-S232)
Sachgruppe(n)	530 Physik

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