Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328689999
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328689999 |
| Titel | On the Formation of an Anti-Reflection Layer on the Surface of Single-Crystal Silicon by Ion-Beam Etching / by M. V. Zorina, S. A. Kraev, A. Ya. Lopatin, M. S. Mikhailenko, A. I. Okhapkin, A. A. Perekalov, A. E. Pestov, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, I. I. Kuznetsov |
| Person(en) |
Zorina, M. V. (Verfasser) Kraev, S. A. (Verfasser) Lopatin, A. Ya (Verfasser) Mikhailenko, M. S. (Verfasser) Okhapkin, A. I. (Verfasser) Perekalov, A. A. (Verfasser) Pestov, A. E. (Verfasser) Chernyshev, A. K. (Verfasser) Chkhalo, N. I. (Verfasser) Kuznetsov, I. I. (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | 1 Online-Ressource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405081007226.816712439026 DOI: 10.1134/S1027451023070583 |
| URL | https://doi.org/10.1134/S1027451023070583 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2023 |
| DDC-Notation | 530.417 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Journal of surface investigation (Bd. 17, 4.3.2024, Nr. 1, date:12.2023: S259-S264) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

