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Titel On the Formation of an Anti-Reflection Layer on the Surface of Single-Crystal Silicon by Ion-Beam Etching / by M. V. Zorina, S. A. Kraev, A. Ya. Lopatin, M. S. Mikhailenko, A. I. Okhapkin, A. A. Perekalov, A. E. Pestov, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, I. I. Kuznetsov
Person(en) Zorina, M. V. (Verfasser)
Kraev, S. A. (Verfasser)
Lopatin, A. Ya (Verfasser)
Mikhailenko, M. S. (Verfasser)
Okhapkin, A. I. (Verfasser)
Perekalov, A. A. (Verfasser)
Pestov, A. E. (Verfasser)
Chernyshev, A. K. (Verfasser)
Chkhalo, N. I. (Verfasser)
Kuznetsov, I. I. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405081007226.816712439026
DOI: 10.1134/S1027451023070583
URL https://doi.org/10.1134/S1027451023070583
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
DDC-Notation 530.417 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Journal of surface investigation (Bd. 17, 4.3.2024, Nr. 1, date:12.2023: S259-S264)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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