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Titel Electron optical identification of precipitations in silicon semiconductor devices
Person(en) Pasemann, M. (Verfasser)
Barna, Á. (Verfasser)
Werner, P. (Verfasser)
Hagel, H.‐J. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405090537372.748428328327
DOI: 10.1002/crat.19790140508
URL https://doi.org/10.1002/crat.19790140508
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 27.03.2006
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 14, 2006, Nr. 5: 553-561. 9 S.)

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