Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1328845354
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328845354 |
| Titel | Die Temperaturabhängigkeit des Dotanteneinbaus bei der Abscheidung von Siliziumepitaxieschichten aus der Gasphase (I) Der Phosphoreinbau und die Natur des Segregationskoeffizienten |
| Person(en) | Kühne, H. (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405100501095.392936550839 DOI: 10.1002/crat.19780130809 |
| URL | https://doi.org/10.1002/crat.19780130809 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 27.03.2006 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 13, 2006, Nr. 8: 939-946. 8 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

