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Titel 4 inch Gallium Oxide Field‐Effect Transistors Array with High‐k Ta 2 O 5 as Gate Dielectric by Physical Vapor Deposition
Person(en) Liu, Zi Chun (Verfasser)
Li, Jia Cheng (Verfasser)
Yang, Hui Xia (Verfasser)
Yang, Han (Verfasser)
Huang, An (Verfasser)
Dai, De (Verfasser)
Huang, Yuan (Verfasser)
Zhang, Yi Yun (Verfasser)
Lai, Pui To (Verfasser)
Ma, Yuan Xiao (Verfasser)
Wang, Ye Liang (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405101419213.005695053719
DOI: 10.1002/pssr.202400046
URL https://doi.org/10.1002/pssr.202400046
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 10.05.2024
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Physica status solidi / Rapid research letters (10.05.2024. 7 S.)

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