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Titel Entstehung von Eigen‐Zwischengitteratomen beim chemisch‐mechanischen Polieren von Silizium
Person(en) Reichel, J. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405110532065.374687282431
DOI: 10.1002/crat.19780130615
URL https://doi.org/10.1002/crat.19780130615
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 27.03.2006
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 13, 2006, Nr. 6: 721-727. 7 S.)

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