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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/132907632X
Titel Bestimmung der Pinhole‐Dichte von Isolatorschichten durch chemisches Ätzen (I). Das System Silizium‐Siliziumdioxid
Person(en) Thiemt, K. (Verfasser)
Kaltofen, R. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405130612464.783417761428
DOI: 10.1002/crat.19750100310
URL https://doi.org/10.1002/crat.19750100310
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 27.03.2006
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 10, 2006, Nr. 3: 305-312. 8 S.)

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