Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

Ergebnis der Suche nach: idn=1329585283



Treffer 1 von 1 < < > <



Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1329585283
Titel Virtual metrology for chemical mechanical planarization of semiconductor wafers / by Balamurugan Deivendran, Vishnu Swaroopji Masampally, Naga Ravikumar Varma Nadimpalli, Venkataramana Runkana
Person(en) Deivendran, Balamurugan (Verfasser)
Masampally, Vishnu Swaroopji (Verfasser)
Nadimpalli, Naga Ravikumar Varma (Verfasser)
Runkana, Venkataramana (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405152124253.047750040640
DOI: 10.1007/s10845-024-02335-0
URL https://doi.org/10.1007/s10845-024-02335-0
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2024
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Journal of intelligent manufacturing (13.3.2024: 1-20)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Online-Zugriff Archivobjekt öffnen




Treffer 1 von 1
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage

E-Mail-IconAdministration