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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ein Beitrag zur Anwendung des akustischen Resonanzverfahrens zur Untersuchung elasto-mechanischer Eigenschaften von Siliziumsubstraten und des Einflusses der Aluminiummetallisierung / vorgelegt von Wolf-Joachim Hummel
Person(en) Hummel, Wolf-Joachim (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1980
Umfang/Format 154, 12 Bl. : Ill. ; 30 cm + Thesen (10 Bl.)
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Hochsch., Fak. für techn. Wiss., Diss. A, 1980.
Anmerkungen Nicht für den Austausch
Schlagwörter Silizium-Halbleiter / elasto-mechan. Eigenschaften u.a.
Sachgruppe(n) 0700 Technik allgemein; Grundlagen der industriellen Produktion

Leipzig Signatur: Di 1985 B 2963
Bereitstellung in Leipzig




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