Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/969770278 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen der inneren Grenzflächen des Si-SiC-Systems / vorgelegt von Wilfried Attenberger |
| Person(en) | Attenberger, Wilfried (Verfasser) |
| Verlag | Berlin : Mensch-und-Buch-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
| Umfang/Format | 143 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2003 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-89820-535-1 kart. : EUR 23.00 3-89820-535-5 kart. : EUR 23.00 |
| EAN | 9783898205351 |
| Beziehungen | Forschungsberichte aus den Naturwissenschaften : Physik |
| Schlagwörter |
Siliciumcarbid ; Heteroepitaxie ; Silicium ; Halbleitersubstrat ; Grenzfläche ; Durchstrahlungselektronenmikroskopie Siliciumcarbid ; Vergrabene Schicht ; Ionenimplantation |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2004 A 21300
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2004 A 23697
Bereitstellung in Leipzig |
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